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電子顯微鏡

(electron microscope),簡稱電鏡,是使用電子來展示物件的內部或表面的顯微鏡。高速的電子的波長比可見光的波長短(波粒二象性),而顯微鏡的分辨率受其使用的波長的限制,因此電子顯微鏡的分辨率(約0。1納米)遠高于光學顯微鏡的分辨率(約200納米)。

  • 電子顯微鏡資訊

電子顯微鏡觀測到半導體中存在 “mouse bite” 缺陷

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